測(cè)量顯微鏡是作為的金相顯微鏡在使用。分為大型工具顯微鏡和小型工作顯微鏡，使用其進(jìn)行測(cè)定，常用的測(cè)定方法有四種，分別是直角坐標(biāo)測(cè)定、角度測(cè)定、高度測(cè)定和孔徑測(cè)定。
1、測(cè)量顯微鏡大型工具顯微鏡。
它的回轉(zhuǎn)工作臺(tái)是采裝配式，亦由密十字形移動(dòng)臺(tái)和觀測(cè)顯微鏡制成的，穿透照明設(shè)備是采用離心照明，支柱和工作臺(tái)體成型可以左右傾斜，螺紋測(cè)定便捷。眼觀測(cè)部裝有投影裝置，可從事投影像之觀測(cè)。
2、小型工具顯微鏡。
它是由密十字移動(dòng)工作臺(tái)及觀測(cè)顯微鏡構(gòu)成的，是屬于小型工具顯微鏡，設(shè)計(jì)時(shí)是以容易使用為主，所以支柱不會(huì)傾斜，照明設(shè)備亦采簡(jiǎn)易型，雖然容易但和許多附屬品相連接后，能夠增加各種測(cè)定工作。
測(cè)量顯微鏡的般測(cè)定的方法是什么呢?
1、直角坐標(biāo)測(cè)定：
測(cè)定時(shí)須使測(cè)定物的直角坐標(biāo)方向和十字形工作臺(tái)的移動(dòng)方向致時(shí)方可進(jìn)行測(cè)定。采用直角坐標(biāo)測(cè)定時(shí)由十字移動(dòng)工作臺(tái)的移動(dòng)量可直接讀取直角坐標(biāo)值，若是大型工具顯微鏡，使用瞄準(zhǔn)孔直角坐標(biāo)測(cè)定上的像連接觀測(cè)眼即可正確測(cè)定，而在進(jìn)行測(cè)定物直角坐標(biāo)方向和十字移動(dòng)工作臺(tái)之校正時(shí)，使用裝設(shè)在大型工具顯微鏡上的裝配式旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)方便，于小型工具顯微鏡只要旋轉(zhuǎn)臺(tái)附件即可。
2、角度測(cè)定：
使用旋轉(zhuǎn)工作臺(tái)或角度觀測(cè)透鏡即可測(cè)定。般而言角度觀測(cè)透鏡的度較。
3、高度測(cè)定：
雖然小型工具顯微鏡無法測(cè)定高度，但是若把量銀裝在支柱的上端，然后利用顯微鏡的上下移動(dòng)量可測(cè)定高度了。然而，由于焦點(diǎn)深度，支柱傾度及量銀和光軸間等因素誤差，欲正確測(cè)定相當(dāng)困難。
4、測(cè)量顯微鏡孔徑測(cè)定：
般是使用角度觀測(cè)透鏡測(cè)定，但大型工具顯微鏡則可使用重疊影象觀測(cè)透鏡或者光學(xué)探測(cè)子，是使用重疊影象透鏡，使生成的兩種像重疊，接著在相對(duì)的方亦然，于是由移動(dòng)量即可顯示孔的內(nèi)徑。假若是使用光學(xué)探測(cè)器，則先將它裝設(shè)在3倍的對(duì)物透鏡上，然后對(duì)準(zhǔn)探測(cè)子和工作臺(tái)的移動(dòng)方向，再調(diào)整觀測(cè)鏡內(nèi)之重疊線平行于觀測(cè)透鏡的十字線，而使測(cè)定子接觸孔穴面。后利用Y軸上的進(jìn)給校正重疊線的逆向移動(dòng)，并用X軸進(jìn)給使重疊線夾住觀測(cè)透鏡的十子線，即可讀取X軸上的測(cè)定值。相對(duì)側(cè)的孔穴亦然，故有讀取的差值再加上探測(cè)子的直徑即可獲得孔穴內(nèi)徑。
工具顯微鏡的測(cè)量對(duì)象是什么呢?
1.測(cè)量各種成型零件如樣板、樣板車刀、樣板銑刀、沖模和凸輪的形狀。
2.測(cè)量外螺紋(螺紋塞規(guī)、絲桿和蝸桿等)的中徑、小徑、螺距、牙型半角。
3.測(cè)量齒輪滾刀的導(dǎo)程、齒形和牙型角。
4.測(cè)量電路板、鉆?；蚩装迳系目椎奈恢?，鍵槽的對(duì)稱度等形位誤差。